AC measurements and dielectric properties of nitrogen-rich silicon nitride thin films

Abstrakt

Autorzy

Fadei F. Komarov
Fadei F. Komarov
Ivan A. Romanov
Ivan A. Romanov
Paweł Żukowski
Paweł Żukowski
Irina N. Parkhomenko
Irina N. Parkhomenko
rozdział z monografii
Angielski
978-1-5386-2811-9
2017
Nanomaterials: Application & Properties (NAP), 2017 IEEE 7th International Conference
15
0
0
0